ナノ格子制御による薄膜キャパシタ構造の作製と剥離・転写・接合によるナノ電子部品用実装技術の確立
| 体系的番号 |
JPMJPR09H1 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJPR09H1 |
研究代表者 |
一木 正聡 東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2012
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| 概要 | ナノレベルでの高度な結晶格子の構造制御により、ナノキャパシタ、圧電薄膜等のナノ電子部品を高密度に製作・集積化し、次世代エレクトロニクスデバイス向けナノ実装技術の基盤技術の確立を目標とします。本研究では、ナノ格子の結晶整合/不整合性を活用して、基本構造の結晶成長を実現し、フィルムベースの常温接合技術のためのナノ表面機構を明らかにします。さらに、実装プロセス技術としてのシステム化・装置化を図ることで従来は不可能であった高性能ナノ電子部品の内蔵実装を実現します。
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| 研究領域 | ナノシステムと機能創発 |
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