ナノシステムの大規模集積化に向けた高速電子線露光法の開発
| 体系的番号 |
JPMJPR09H3 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJPR09H3 |
研究代表者 |
木村 建次郎 神戸大学, 大学院理学研究科, 講師
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2012
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| 概要 | 極限微細化技術において、電子線露光の高速化は最も重要な研究課題です。従来の“一筆書き電子線露光法"では多大な時間とコストを要し、量産には向きません。本研究では、「電子の短波長性」と「電子線の軌道制御性の良さ」を最大限に生かした量産型の高速電子線露光装置の開発を目指します。
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| 研究領域 | ナノシステムと機能創発 |
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