発熱ナノカプセル粒子の鋳込成型体を用いた瞬間接着技術の創成
研究代表者 |
生津 資大 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2013
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| 概要 | 本研究では、ナノ粒子生成のボトムアップ手法とMEMSプロセスのトップダウン手法とを融合させ、1秒未満で700°C相当の熱量を瞬間発生可能な発熱素材を創製し、これを熱源としたSiウェハの瞬間はんだ接着法の確立を目指します。Alナノ粒子にNiをナノコートしたAlNiナノカプセルを素材とし、本接着法により、ほぼ0Wのエネルギーでウェハを接着でき、低エネルギー・低コストな“エコ接着技術”としてCO2削減に貢献します。
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| 研究領域 | ナノシステムと機能創発 |
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