標準CMOS集積回路とメムスプロセスによるスマート・イオンセンサ技術の開発

研究課題

体系的番号	JPMJTS1514
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTS1514
企業責任者	小切間正彦株式会社メムス・コア
研究責任者	中里和郎名古屋大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2015 – 2020
概要	イオン信号に適した新しい集積回路技術を開発します。標準CMOS集積回路上にセンサ特有の構造をメムスプロセスで形成する際、両プロセスの間に存在するリソグラフィのギャップを自己整合プロセスにより解決します。分子認識部としてプローブを固定したビーズの3次元空間位置制御技術を開発します。スマート・イオンセンサに特化した汎用集積回路およびウィルスをフィールドで10分以内に検出する小型可搬型装置を開発します。
研究領域	ナノレベルの分解能と識別感度をもつイオンセンサの実現に向けた技術開発