電子線検出によるイオン分布のナノイメージセンシングシステム

研究課題

体系的番号	JPMJTS1516
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTS1516
企業責任者	木村小粥啓子株式会社アプコ
研究責任者	川田善正静岡大学, 電子工学研究所, 教授
研究期間 (年度)	2015 – 2020
概要	イオン感応膜の電荷検出に集束電子線を用いることにより、ナノスケールの分解能を実現するとともに、細胞の単一イオンチャンネルをイメージング可能なイオンセンサシステムを実現することを目指します。本システムでは、集束電子線を用いるためナノメートルスケールの空間分解能を実現することが可能であり、センサーの加工限界などの制限を受けないため、飛躍的な空間分解能の向上が期待できます。
研究領域	ナノレベルの分解能と識別感度をもつイオンセンサの実現に向けた技術開発