革新的な次世代EUV露光用光源の実現を目指した自由電子レーザーの基盤技術開発
| 体系的番号 |
JPMJKP24M2 |
研究代表者 |
本田 洋介 高エネルギー加速器研究機構, 応用超伝導加速器イノベーションセンター, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2025 – 2029 (予定)
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| 概要 | 本研究開発では、加速器技術を利用して、現在の半導体関連企業が有する光源技術の延長線上に無い、新しい光源技術を開発し社会実装を目指します。具体的には、超伝導加速空洞を用いたERL（エネルギー回収型線形加速器）にFEL（自由電子レーザー）発振技術を組み合わせることで、高効率で高出力のEUV光源（ERL型EUV-FEL）を開発します。
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| 研究領域 | 「次世代半導体微細加工プロセス技術」に関する研究開発構想（プロジェクト型） |
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