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波長170nm台コヒーレント光発生用非線形光学素子及びその応用の開発(仮称)

研究課題

戦略的な研究開発の推進 経済安全保障重要技術育成プログラム

体系的番号 JPMJKP24M5

研究代表者

宮本 晃男  株式会社オキサイド, コアテクノロジ事業部, マネージャー

研究期間 (年度) 2025 – 2029 (予定)
概要次世代の半導体露光技術においては、露光マスクのパターンやウエーハ検査の高精度化が必須です。その実現には、検査用レーザー光源の波長を現在の最先端である200nm前後から170nm台へ大幅に短波長化することが必要となります。本研究開発では、真空紫外光を発生可能な非線形光学結晶の材料選定から結晶育成、デバイス化、レーザー光源試作まで一貫した技術開発を実施し、波長170nm台レーザー光源の要素技術確立を目的とします。
研究領域「次世代半導体微細加工プロセス技術」に関する研究開発構想(プロジェクト型)

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2025-03-26  

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