波長170nm台コヒーレント光発生用非線形光学素子及びその応用の開発

研究課題

体系的番号	JPMJKP24M5
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJKP24M5
研究代表者	宮本晃男株式会社オキサイド, コアテクノロジ事業部, マネージャー
研究期間 (年度)	2025 – 2029 (予定)
概要	次世代の半導体露光技術においては、露光マスクのパターンやウエーハ検査の高精度化が必須です。その実現には、検査用レーザー光源の波長を現在の最先端である200nm前後から170nm台へ大幅に短波長化することが必要となります。本研究開発では、真空紫外光を発生可能な非線形光学結晶の材料選定から結晶育成、デバイス化、レーザー光源試作まで一貫した技術開発を実施し、波長170nm台レーザー光源の要素技術確立を目的とします。
研究領域	「次世代半導体微細加工プロセス技術」に関する研究開発構想（プロジェクト型）