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ウエハースケールvdWエピタキシーの確立と2D-CMOS集積化のためのプロセス技術の構築

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 CREST

体系的番号 JPMJCR24A3
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJCR24A3

研究代表者

長汐 晃輔  東京大学, 大学院工学系研究科, 教授

研究期間 (年度) 2024 – 2029
概要本申請では,c面サファイア基板上にN型MoS2及び,P型WSe2をvdWエピタキシーにより単結晶成膜し,CMOSインバータ動作を実証することを提案する.到達目標として,結晶性の指針である移動度50 cm2/Vs以上,CMOSインバータ動作の指標であるゲインをVDD = 1 Vにて100以上を目指す.
研究領域ナノ物質を用いた半導体デバイス構造の活用基盤技術
  • 主な研究成果

    (5件)

すべて 2024

すべて 雑誌論文 (5件) (国際共著 3件、 査読あり 5件、 オープンアクセス 5件)

  • [雑誌論文] High-Resolution Distance Dependence Interrogation of Scanning Ion Conductance Microscopic Tip-Enhanced Raman Spectroscopy Enabled by Two-Dimensional Molybdenum Disulfide Substrates2024

    • 著者名
      Xing He, Abu Monta, kim Tareq, Kai Qi, Ylli Conti, Vincent Tung, Naihao Chiang
    • 雑誌名

      ACS Nano Lett. 2024, 24, 43, 13805?13810

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Constructing Two-Dimensional, Ordered Networks of Carbon?Carbon Bonds with Precision2024

    • 著者名
      Jui-Han Fu, De-Chian Chen, Yen-Ju Wu, Vincent Tung
    • 雑誌名

      ACS Precision Chemistry 2025, 3, 3-9

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Engineering grain boundaries in monolayer molybdenum disulfide for efficient water-ion separation2024

    • 著者名
      Jie Shen, Areej Aljarb, Yichen Cai, Xing Liu, Jiacheng Min, Yingge Wang, Chenhui Zhang, Cailing Chen, Marim Hakami, Jui-Han Fu, Hui Zhang, Guanxing Li, Xiaoqian Wang, Zhuo Chen, Jiaqiang Li, Xinglong Dong, Vincent Tung, Guosheng Shi, Ingo Pinnau*, Lain-Jong Li, and Yu Han
    • 雑誌名

      Science 2025387, 776-782

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Dimensionality-Induced Transition from Degenerate to Nondegenerate States in Nb-Doped WSe<sub>2</sub>2024

    • 著者名
      Kaito Kanahashi, Itsuki Tanaka, Tomonori Nishimura, Kohei Aso, Anh Khoa Augustin Lu, Satoru Morito, Limi Chen, Takafumi Kakeya, Satoshi Watanabe, Yoshifumi Oshima, Yukiko Yamada-Takamura, Keiji Ueno, Amin Azizi, Kosuke Nagashio
    • 雑誌名

      ACS nano, 2025, 19, 10244, 6140-6148

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Ultrafast Nano-Imaging of Spatially Modulated Many-BodyDynamics in CVD-Grown Monolayer WS22024

    • 著者名
      Yu Wang, Jun Nishida, Keiichi Nakamoto, Xu Yang, Yoshiki Sakuma, Wenjin Zhang, Takahiko Endo, Yasumitsu Miyata, Takashi Kumagai
    • 雑誌名

      ACS Photonics, 2025, 12, 207-218

    • 査読あり / オープンアクセス

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2024-12-19   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2026-09-08  

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