多価イオン照射で新しい固体表面をつくる

研究課題

体系的番号	JPMJPR94L9
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR94L9
研究代表者	持地広造株式会社日立製作所, 中央研究所, 主任研究員
研究期間 (年度)	1994 – 1997
概要	極低速の多価イオンと固体表面の間の電子的相互作用によって引き起こされる表面反応の特徴と反応機構を調べ、イオンの内部エネルギーを選択することによる表面反応制御の可能性を探ります。
研究領域	場と反応