2012 年度事後評価書

極微細加工用レジスト研究とプロセスシミュレーターの開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0745
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0745
研究代表者	田川精一大阪大学, 産業科学研究所, 教授
研究期間 (年度)	2007 – 2012
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究