2009 年度終了報告書

ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業さきがけ

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体系的番号	JPMJPR06N8
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR06N8
研究代表者	三村秀和大阪大学, 大学院工学研究科, 助手
研究期間 (年度)	2006 – 2009
研究領域	ナノ製造技術の探索と展開