2010 年度終了報告書

ナノ光リソグラフィーによる金属ナノパターン作製技術の開発

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業さきがけ

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体系的番号	JPMJPR07N3
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR07N3
研究代表者	上野貢生北海道大学, 電子科学研究所, 助教
研究期間 (年度)	2007 – 2010
研究領域	ナノ製造技術の探索と展開