2009 年度終了報告書

LSI用3次元カーボン・アクティブ配線の開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0746
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0746
研究代表者	二瓶瑞久富士通株式会社, 電子デバイス事業本部, 統括部長付
研究期間 (年度)	2007 – 2009
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究