2013 年度事後評価書

縦型ボディーチャネルMOSFETとその集積プロセスの開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0841
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0841
研究代表者	遠藤哲郎東北大学, 学際科学国際高等研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2008 – 2013
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究