2013 年度事後評価書

コヒーレントEUV光を用いた極微パタン構造計測技術の開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0842
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0842
研究代表者	木下博雄兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授
研究期間 (年度)	2008 – 2013
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究