2013 年度事後評価書

超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0845
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0845
研究代表者	松井真二兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授
研究期間 (年度)	2008 – 2013
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究