2011 年度終了報告書

オンチップ光配線用窒化物基板の創製とシステム熱設計支援

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業さきがけ

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体系的番号	JPMJPR0863
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR0863
研究代表者	寒川義裕九州大学, 応用力学研究所, 准教授
研究期間 (年度)	2008 – 2011
研究領域	革新的次世代デバイスを目指す材料とプロセス