2012 年度終了報告書

III族酸化物／窒化物半導体複合構造の界面制御とデバイス応用

研究課題

体系的番号	JPMJPR096A
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR096A
研究代表者	東脇正高情報通信研究機構, 新世代ネットワーク研究センター, 主任研究員
研究期間 (年度)	2010 – 2012
研究領域	革新的次世代デバイスを目指す材料とプロセス