2014 年度終了報告書

高密度多層配線・三次元積層構造における局所的機械強度の計測手法の開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0943
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0943
研究代表者	神谷庄司名古屋工業大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2009 – 2014
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究