2018 年度終了報告書

高品質SiC単結晶薄膜の革新的低温・高速成長技術の創製

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業 ALCA(先端的低炭素化技術開発) 技術領域

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体系的番号	JPMJAL1310
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJAL1310
研究代表者	松本祐司東北大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2013 – 2018
研究領域	革新的省・創エネルギー化学プロセス