2020 年度終了報告書

多層エレクトレット集積型CMOS-MEMS振動発電素子の創製

研究課題

体系的番号	JPMJPR17R9
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR17R9
研究代表者	山根大輔東京工業大学, 科学技術創成研究院未来産業技術研究所, 助教
研究期間 (年度)	2017 – 2020
研究領域	微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出