2022 年度終了報告書

次世代半導体開発におけるプロセス設計の革新

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業 ACT-X

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体系的番号	JPMJAX20A7
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJAX20A7
研究代表者	草場彰九州大学, 応用力学研究所, 助教
研究期間 (年度)	2020 – 2022
研究領域	AI活用で挑む学問の革新と創成