2023 年度年次報告書

フォノンエンジニアリングに立脚した3DIC放熱技術開発

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業 ALCA-Next

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体系的番号	JPMJAN23E3
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJAN23E3
研究代表者	野村政宏東京大学, 生産技術研究所, 教授
研究期間 (年度)	2023 – 2026
研究領域	半導体