2024 年度年次報告書

最先端原子層プロセス国際共同研究ネットワークの構築

研究課題

国際的な科学技術共同研究などの推進先端国際共同研究推進事業 ASPIRE 単独公募(トップ)

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体系的番号	JPMJAP2321
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJAP2321
研究代表者	浜口智志大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2023 – 2028
研究領域	半導体