2025 年度年次報告書

環境循環型 3D 集積半導体製造革新と拠点形成

研究課題

体系的番号	JPMJES2521
研究代表者	井上史大横浜国立大学, 大学院工学研究院／総合学術高等研究院, 教授
研究期間 (年度)	2025 –
研究領域	3D集積技術