1986 年度終了報告書

林超微粒子プロジェクト

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業 ERATO

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体系的番号	JPMJER8103
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJER8103
研究代表者	林主税日本真空技術(株), 会長
研究期間 (年度)	1981 – 1986