2012 年度終了報告書

ナノシステムの大規模集積化に向けた高速電子線露光法の開発

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業さきがけ

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体系的番号	JPMJPR09H3
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR09H3
研究代表者	木村建次郎神戸大学, 大学院理学研究科, 講師
研究期間 (年度)	2009 – 2012
研究領域	ナノシステムと機能創発